Kryopumpit on jaettu kahteen tyyppiin: injektiotyyppiset nestemäiset helium-kryopumpit ja suljetun piirin kaasuheliumjääkaapin kryomupit.
Injektioneste helium kryopump
Se koostuu pääasiassa nestemäisestä heliumsäiliöstä, pumpun rungosta ja nestemäisestä typpiontelosta, joka on kytketty levypalloon. Nestemäisen heliumin kulutuksen vähentämiseksi nestemäisen heliumsäiliön ulkoseinä ottaa käyttöön kaksikerroksisen lämmöneristysseinän ja evakuoidaan välillä.
Kun pumppu pumpataan valmiiksi Pa-paineeseen, ruiskutetaan nestemäistä typpeä ja nestemäistä heliumia, ja kaasu tiivistyy 4,2 K: n toimivalle kylmälevylle. Esipumppauksen jälkeen heliumin ja vedyn osittainen paine on Pa: n järjestyksessä, joten pumppu voi saada lopullisen paineen Pa: n alapuolella.
Jos nestemäinen heliumsäiliö tyhjennetään ja puretaan 6650 Pa: iin, nestemäisen heliumin lämpötila voidaan laskea 2,3 K: iin ja saada alarajapaine.
Suljetun syklin kaasuheliumjääkaappi kryopump
Se on uudenlainen kryopump, joka ilmestyi 1970-luvulla. Tämä pumppu ei kuluta heliumia, on helppo käyttää, helppo huoltaa ja sitä käytetään yhä enemmän.
Jääkaapin jäähdytysaine on kaasuhelium, ensimmäisen vaiheen kylmälevyn lämpötila on 50-100K, ja tyypillinen sovellus on 65K, jota käytetään vesihöyryn kondensoimiseen ja muiden kaasujen esijäähdyttämiseen; toisen vaiheen kylmälevyn lämpötila on 10-20K, jota käytetään typen, kaasujen, kuten hapen ja argonin, kondensoimiseen.
Sekundaarisen kylmälevyn sisäpinta on päällystetty aktiivihiilellä. Aktiivihiilellä on vahva adsorptiokyky heliumille, neonille ja vedylle alhaisessa lämpötilassa. Kylmälevy on valmistettu hapettomasta kuparista, ja pinta kiillotetaan peilitasolle emission vähentämiseksi.
Pumpun lopullinen paine on Pa, käyttöpainealue on Pa, ja esipumppupaineen on oltava 1 Pa. Lopputuotteen pumppausnopeus on noussut 60 000 litraan sekunnissa. Lisäksi prosessin ominaisuuksien mukaan ilmanpoiston kylmälevy voidaan järjestää pumpattavaan säiliöön, ja ilmanottonopeus voi nousta yli 106 litraan sekunnissa.
Rakenteelliset ominaisuudet
Pystysuora rakenne: sopii hautaamiseen maahan, moottorin kuuma ilma, ilman lämpötila ja auringonpaiste jne., Ei vaikuta siihen, ja se on helppo pitää kylmänä; se voi vähentää pumpun imukorkeutta, lisätä täyttöpäätä ja parantaa tehokasta NPSH: ta; pystysuora rakenne Myös Se on hyödyllistä poistoilmalle, jotta jousitusakselilla on riittävä korkeus akselin tiivistyslaitteen järjestämisen helpottamiseksi, joten pumppua kutsutaan myös pystysuoraksi tynnyripumpuksi.
Symmetrinen rakenne: Pumpun yleinen rakenne pyrkii symmetrisesti järjestettyyn siten, että se voi muuttua tasaisesti kylmässä tilassa. Kylmä pää ottaa yleensä käyttöön kaksivaiheisen mekanismin, ensimmäinen vaihe saavuttaa 80K: n ja toinen vaihe saavuttaa 10K: n lämpötilan.
Kaksikerroksinen kuori: Jotta se pysyisi kylmänä ja helpottaisi vaarallisten väliaineiden kuljetusta, se tehdään yleensä kaksikerroksiseksi kuoreksi. Sisäkuori altistetaan pumpun paineelle, ja imupaine on sisäkuoren ja ulkokuoren välissä, mikä voi vähentää asianmukaisesti sisäkuoren lujuusvaatimuksia. Ulkokuori on tehtävä tyhjiökerrokseksi, joka on saavuttanut lämmöneristyksen vaikutuksen.