Kryopumppuja käytetään myös laajasti nykypäivän elämässä. Monet ihmiset eivät ehkä ole kuulleet kryopumpuista. Kryopumput ovat tyhjiöpumpputyyppi, joka käyttää matalan lämpötilan pintakondensaatiokaasua. Etuna on, että pumppausteho on suurin. Tänään tarkastellaan kryogeenisiä pumppuja Kuinka pumppu toimii.
Kryopumpun toimintaperiaate on käyttää kaasua adsorboitumaan fyysisesti erittäin alhaisen lämpötilan pinnalle uuvuttavan vaikutuksen saavuttamiseksi. Se on tehokas ja nopea tapa saada puhdas tyhjiö.
Kryopumppu voi saavuttaa erittäin suuren tyhjiön (10-11Pa), ja sen etuna on nopea pakokaasunopeus, öljyttomuus ja rajoittamaton asennussuunta.
Kryopumpun ensimmäisen vaiheen kylmävaiheessa asetetaan suojakansi ja ohjauslevy, ja lämpötila pidetään 80 K:ssa. Toissijainen jäähdytysvaihe pidettiin 15 K:ssa, ja sen päälle asetettiin kryogeeninen kansi ja aktiivihiiliadsorbentti.
Vesihöyry jähmettyy 80K-suojassa ja 80K-suojalevyssä; typpi, happi ja argon jähmettyvät 15K kryogeeniseen kanteen; vety, helium ja neon adsorboituvat 15K kryogeenisen kannen sisällä olevaan adsorbenttiin. Kryopumppu voi poistaa kaikki kaasut, mutta jos adsorboituneen kaasun määrä on liian suuri, poistonopeus laskee. Tässä tapauksessa on välttämätöntä lämmittää kryopumppu, vapauttaa adsorboitunut kaasu ja käyttää sitä uudelleen.
Kryopumpun ominaisuudet
Kryopumppu on tyhjiöpumppu, joka käyttää matalan lämpötilan pintaa kaasun lauhduttamiseen, joka tunnetaan myös lauhdepumpuna. Kryopumppu voi saada puhtaan tyhjiön korkeimmalla pumppausnopeudella ja pienimmällä enimmäispaineella, ja sitä käytetään laajalti puolijohteiden ja integroitujen piirien tutkimuksessa ja tuotannossa sekä molekyylisuihkututkimuksessa, tyhjiöpinnoituslaitteissa, tyhjiöpinta-analyysiinstrumenteissa, ioneissa. implantaattorit ja avaruussimulointilaitteet jne. näkökohta.
Kryopumppu on tyhjiöpumppu, joka käyttää erittäin alhaisen lämpötilan jäähdytyspinnan kondensaatiovaikutusta (alle tai yhtä suuri kuin 77K) kaasun poistamiseen järjestelmästä. 1960-luvulta lähtien kryogeenistä pumppausta on käytetty yhä laajemmin tyhjiön hankinnassa ja käytössä.
Kryopumppu on puhdas tyhjiöpumppu. Koska kryogeeninen väliaine on vain kylmäaine, joka jäähdyttää pumpun imupintaa ja varastoidaan tai kierrätetään suljetussa astiassa, se ei ole kosketuksissa tyhjiötilaan. Tämä ominaisuus on kriittinen tietyissä tyhjiöjärjestelmissä, jotka vaativat puhtaita, öljyttömiä imujärjestelmiä.
Kryopumput voivat saavuttaa erittäin alhaiset osapaineet ja erittäin suuret pumppausnopeudet useimmille kaasuille. Kun kryopumppu toimii nestemäisessä heliumväliaineessa, sen etuna on myös suuri todellinen pumppauskapasiteetti ja epäselektiivinen pumppaus (paitsi helium).
Kryopumpuilla on keskeinen rooli puolijohteiden ja integroitujen piirien tutkimuksessa ja tuotannossa, molekyylisuihkututkimuksessa ja muilla aloilla. Se on puhdas tyhjiöpumppu. Yllä oleva koskee kryopumppujen toimintaperiaatetta.