Kryopumput valmistetaan kaasun kondensaation, kryogeenisen adsorption, kryogeenisen pyydystyksen tai imuperiaatteen mukaisesti tyhjiön saamiseksi.
1. Pumpun käyttöpaineen mukaan se voidaan jakaa kryopumppuun jatkuvalle virtausalueelle, kryopumppuun molekyylivirtausalueelle, yleensä kondensaattipumppuun plus adsorptiovaiheeseen tai kryogeeniseen sieppausvaiheeseen.
2. Jäähdytysmenetelmän mukaan se voidaan jakaa varastosäiliön kryopumppuun, haihdutuskryopumppuun ja jäähdytyskryopumppuun. Niistä varastosäiliön kryopumppu ja haihduttava kryopumppu molemmat käyttävät nestemäistä kylmäainetta jäähdytykseen, jäähdytyssuojapinta on yleisesti käytetty nestemäinen typpi ja kryogeeninen pinta on yleisesti käytetty nestemäinen helium tai kaasuhelium jäähdytykseen. Nestemäisen vedyn syttyvyyden, räjähtävyyden ja korkean hinnan vuoksi sitä käytetään edelleen harvoin huolimatta sen korkeammasta haihtumisentalpiasta kuin nestemäisen heliumin.
Gifford käyttää yleisesti jäähdytyskryopumppujääkaappeja. McMahon-tyyppi (kutsutaan nimellä GM-jääkaappi) ja Stirling-tyyppi (kutsutaan nimellä St-jääkaappi). Suurella pumppausnopeudella varustetuissa jäähdytyskryopumpuissa voidaan käyttää nestemäistä helium-lämpötilaluokan jääkaappia, ja JT-venttiili voidaan asettaa muodostamaan nestekiertoinen jäähdytyslaite, ja joskus käytetään nestemäistä typpeä nestesäiliössä tai typen nesteytyskoneessa. jäähdytä välilevy ja suojuksen pinta.
Kryopumpun tärkein suorituskyky
①Korkeampi kuin pumppausnopeus, parempi kuin kaikki muut pumput.
②Muodon suhteen ei ole rajoituksia, se voidaan upottaa tyhjiökammioon tai kiinnittää alipainekammion seinämään laipalla.
③ Se voi tarjota täysin puhtaan tyhjiön ilman saastumista tyhjiöjärjestelmään.
④Erittäin alhaisen paineen alipaineaste voidaan saavuttaa, esimerkiksi alle 10-12Pa. Lisäksi kryopumpun toiminta on luotettavaa ja kun pumppausnopeus on suhteellisen suuri, sen investoinnin käyttökustannukset ovat alhaisemmat kuin perinteisellä tyhjiöpumpulla ja automaatio on helppo toteuttaa.