Kryopumppu on tyhjiöpumppu, joka käyttää matalan lämpötilan pintaa kaasun lauhduttamiseen, joka tunnetaan myös lauhdepumpuna. Kryopumppu voi saada puhtaan tyhjiön korkeimmalla pumppausnopeudella ja alhaisimmalla loppupaineella, ja sitä käytetään laajasti puolijohteiden ja integroitujen piirien tutkimuksessa ja tuotannossa sekä molekyylisuihkututkimuksessa, tyhjiöpinnoituslaitteissa, tyhjiöpinta-analyysiinstrumenteissa, ioneissa. implantaattorit ja avaruussimulaatio. laitteet jne.
Pumppausperiaate Kryopumppu on varustettu kylmälevyllä, joka on jäähdytetty erittäin alhaiseen lämpötilaan nestemäisellä heliumilla tai jääkaapilla. Se kondensoi kaasun ja pitää kondensaatin höyrynpaineen pumpun lopullisen paineen alapuolella pumppausvaikutuksen saavuttamiseksi. Matalan lämpötilan pumppauksen päätoiminnot ovat matalan lämpötilan kondensaatio, matalan lämpötilan adsorptio ja matalan lämpötilan talteenotto.
kryopumppu
① Matalan lämpötilan kondensaatio: kaasumolekyylit tiivistyvät kylmälevyn pinnalle tai kondensoituneelle kaasukerrokselle, ja tasapainopaine on periaatteessa sama kuin kondensaatin höyrynpaine. Vetyä pumpattaessa kylmälevyn lämpötila on alhaisempi.
②Matalissa lämpötiloissa adsorptio: Kaasumolekyylit adsorboituvat adsorbentin pinnalle, joka on päällystetty kylmälevylle yhden molekyylikerroksen paksuisella. Adsorption tasapainopaine on paljon pienempi kuin höyrynpaine samassa lämpötilassa.
③ Kryogeeninen pyydystäminen: Kaasumolekyylit, joita ei voida kondensoida uuttolämpötilassa, peittyvät ja adsorboivat kasvavan kondensoituvan kaasun kerroksen.