Voidaanko kryopumput jakaa useisiin luokkiin väliaineen syöttötavan mukaan?

Väliaineen syöttötavan mukaan kryopumput jaetaan seuraaviin tyyppeihin:

Varastointisäiliön kryogeeninen pumppu: matalan lämpötilan väliaine (nestemäinen helium) ruiskutetaan suoraan pumpun varastosäiliöön kaasun kondensoimiseksi pumppaustarkoituksen saavuttamiseksi.

Varastosäiliön kryopumpun etuja ovat, että pumppu on pienikokoinen, ei tärise, ei melua ja helppokäyttöinen.

Varastointisäiliön kryogeenisen pumpun haittana on, että käyttökustannukset ovat korkeat, alhaisen lämpötilan väliaineen jokaisen täytön käyttöaika on lyhyt ja tyhjiöjärjestelmän, jonka on toimittava jatkuvasti pitkään, on ajoittain täydennettävä työskentelyä. väliaine, ja sitä rajoittavat matalan lämpötilan väliaineen syöttöolosuhteet.

Prosessin kryopumppu: Pumpun kryopaneelin jäähdytysputki on yhdistetty jäähdytyspaisunttimeen, ja kryogeeninen väliaine (kaasuhelium) syötetään kryopumppuun ulomman putkilinjan kautta, se absorboi kryopaneelin lämmön ja palaa sitten jäähdytyskompressoriin muodostavat suljetun syklin. Pumpun tilavuus on valtava, putkisto on monimutkainen ja putkilinjan jäähdytyshäviö on suuri.

Prosessikryopumpun etuna on, että sillä on suuri jäähdytysteho ja se soveltuu parhaiten ilmakehän tilavuuden tai suuren tyhjiökammion poistamiseen.

Pieni jääkaapin kryopumppu: Suljetun kierron pieni jääkaapin kryopumppu koostuu matalan lämpötilan pumpun rungosta, ilmanpoistokryopaneelista, säteilysuojalevystä, jääkaapista ja kompressorista.

Suurin ero pienen jääkaapin kryogeenisen pumpun ja prosessin kryogeenisen pumpun välillä on se, että jääkaapin ensimmäinen ja toinen kylmäpää on liitetty suoraan säteilysuojaan ja kylmälevyyn ja virtaus yhdysputkessa jääkaappi ja kompressori ovat normaalilämpötilassa, korkeassa (tai matalassa) lämpötilassa. ) paineistettu kaasuväliaine, matalan lämpötilan väliaineen kuljetusongelmaa ei ole, ja sillä on prosessikryopumpun ja varastosäiliön kryopumpun edut. Se on ihanteellinen puhdas ultrakorkea tyhjiöpumppu tällä hetkellä.

Pieniä jääkaapin kryopumppuja käytetään laajalti ohutkalvon valmistuksessa, mikroelektroniikkatekniikassa, korkean energian fysiikassa, pienissä rengasmuottimissa ja muilla teollisuuden aloilla.